電子特氣作為晶圓制造過程中的第二大耗材，占比接近14%，僅次于硅片，廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。我司電子特氣產(chǎn)品主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，采用液態(tài)與瓶裝氣體生產(chǎn)模式。
| 電子特氣 | 熔點 | 沸點 | 蒸汽壓 | 產(chǎn)品等級 |
| NF3 | -50.8℃ | -63.8℃ | 21.5atm | 4.5N、5N |
| SF6 | -208.5℃ | -129℃ | >1atm | 4.6N |
| BCl3 | -107℃ | 12.5 °C | 29.72 atm | 5N |
